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G5型是制造工藝所用可高效處理各種氣體的燃燒式廢氣處理裝置??膳刻幚矶喾N氣體,能夠高效進行通常處理起來較為困難的PFCs氣體的處理。通過獨家的副產物處理措施以及結合處理對象氣體種類和數量實施的可調式(燃料供應量可調)運行,能夠降低運行成本。該裝置是半導體、液晶面板、太陽能電池和LED等電子元件制造以及化學材料工廠和各種研究室等用途的最佳選擇。產品陣容還包括最大流量為1,200L/min的大流量機型。
Model G5 is capable of abating the majority of general processing and cleaning gases including PFCs used in the manufacturing operations of semiconductors, LCD panels, solar cells, and LEDs. This compact system automatically removes powdery by-products with on-demand operation, thus achieving reduction in maintenance and running cost.
產品特點:
G5型是制造工藝所用可高效處理各種氣體的燃燒式廢氣處理裝置??膳刻幚矶喾N氣體,能夠高效進行通常處理起來較為困難的PFCs氣體的處理。通過獨家的副產物處理措施以及結合處理對象氣體種類和數量實施的可調式(燃料供應量可調)運行,能夠降低運行成本。該裝置是半導體、液晶面板、太陽能電池和LED等電子元件制造以及化學材料工廠和各種研究室等用途的最佳選擇。產品陣容還包括最大流量為1,200L/min的大流量機型。
Model G5 is capable of abating the majority of general processing and cleaning gases including PFCs used in the manufacturing operations of semiconductors, LCD panels, solar cells, and LEDs. This compact system automatically removes powdery by-products with on-demand operation, thus achieving reduction in maintenance and running cost.
產品特點: